谁发明了2纳米光刻机
华睿芯材申请一种Ag基有机配位纳米颗粒及其制备方法专利,该纳米...金融界2024年11月26日消息，国家知识产权局信息显示，华睿芯材(无锡)科技有限公司申请一项名为“一种Ag基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用”的专利，公开号CN 119019448 A,申请日期为2023年5月。专利摘要显示，本发明涉及一种Ag基有机配位纳米颗粒及其是什么。
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上海纬冉申请纳米颗粒分选装置及其制备方法专利,可对特定粒径的...上海纬冉科技有限公司申请一项名为“纳米颗粒分选装置及其制备方法”的专利，公开号CN 119049753 A,申请日期为2024 年8 月。专利摘要显示，本发明提供了一种纳米颗粒分选装置及其制备方法，属于纳米颗粒分选领域，具体包括采用电子束光刻技术在二氧化硅基底上刻画出规则阵说完了。
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杭州邦齐州申请一种金纳米圆环阵列的制备方法专利,制备方法操作...杭州邦齐州科技有限公司申请一项名为“一种金纳米圆环阵列的制备方法”的专利，公开号CN 119018844 A,申请日期为2024年8月。专利摘要显示，本发明提供了一种金纳米圆环阵列的制备方法，属于金纳米材料制备技术领域。本发明在衬底上表面涂敷光刻胶，然后依次进行曝光和显影，还有呢？
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