a类化学品划分_阿龙和小苹果
溧阳中科海钠申请一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置专利,...溧阳中科海钠科技有限责任公司申请一项名为“一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置”的专利，公开号CN 118703981 A,申请日期为2024年6月。专利摘要显示，本发明涉及气相沉积技术领域，具体公开了一种低能耗低排放化学气相沉积方法与装置，其将沉积工艺区划分为物理隔开小发猫。
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上海集成电路材料研究院申请种抛光垫及其设计方法专利,能够在不...公开号CN 119017253 A,申请日期为2023年5月。专利摘要显示，本发明提供一种抛光垫及其设计方法，先将晶圆沿其径向分为多个区域，在一定的化学机械抛光工艺参数下，找到晶圆各个区域在抛光垫上的运动区域，根据该运动区域对抛光垫进行不同硬度区的划分，最后通过硬度与材料去除好了吧！
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